类型:气体捕集泵 | 品牌:维森诺 | 型号:SP630 |
材质:不锈钢 | 用途:真空泵 | 原理:螺杆泵 |
真空度:高真空度 | 驱动方式:电动 | 性能:无泄露 |
输送介质:气体 | 极限压力:0.01 mbarpa | 抽气速率:175l/s |
重量:430kg | 电压:380V |
德国莱宝SP630真空泵维修 Leybold干式螺杆真空泵维护保养
莱宝公司生产的SP630型号是无油真空泵,真空腔内无需油油润滑,因此粉尘不会存留在泵腔内,广泛应用在半导体恶劣的真空环境中,如氧化铝粉尘工艺、焦油等。
莱宝SP630维修常见问题如:卡死无法启动,运行噪音大,运行不畅、转子轴承磨损。